AIT Associated Repository of Academic Resources: 機械研磨加工がシリコン単結晶の微構造に及ぼす影響

			English

このアイテムの引用には次の識別子を使用してください: http://hdl.handle.net/11133/3773

タイトル:	機械研磨加工がシリコン単結晶の微構造に及ぼす影響
その他のタイトル:	キカイケンマカコウガシリコンタンケッショウノビコウゾウニオヨボスエイキョウ
著者:	高木, 誠岩田, 博之坂, 公恭 TAKAGI, Makoto IWATA, Hiroyuki SAKA, Hiroyasu
キーワード:	シリコン単結晶研磨加工透過型電子顕微鏡
発行日:	2020年11月
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3773
出現コレクション:	（5）一般研究令和元年度研究成果概要

このアイテムのファイル:

ファイル	記述	サイズ	フォーマット
総研22号一般研究成果概要18(p113-114).pdf		986.18 kB	Adobe PDF	見る/開く

このリポジトリに保管されているアイテムは、他に指定されている場合を除き、著作権により保護されています。