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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3773

Title: 機械研磨加工がシリコン単結晶の微構造に及ぼす影響
Other Titles: キカイ ケンマ カコウ ガ シリコン タンケッショウ ノ ビコウゾウ ニ オヨボス エイキョウ
Authors: 高木, 誠
岩田, 博之
坂, 公恭
TAKAGI, Makoto
IWATA, Hiroyuki
SAKA, Hiroyasu
Keywords: シリコン単結晶
Issue Date: Nov-2020
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3773
Appears in Collections:(5)一般研究 令和元年度研究成果概要

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