AIT Associated Repository of Academic Resources: 機械研磨加工がシリコン単結晶の微構造に及ぼす影響

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Title:	機械研磨加工がシリコン単結晶の微構造に及ぼす影響
Other Titles:	キカイケンマカコウガシリコンタンケッショウノビコウゾウニオヨボスエイキョウ
Authors:	高木, 誠岩田, 博之坂, 公恭 TAKAGI, Makoto IWATA, Hiroyuki SAKA, Hiroyasu
Keywords:	シリコン単結晶研磨加工透過型電子顕微鏡
Issue Date:	Nov-2020
Publisher:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3773
Appears in Collections:	（5）一般研究令和元年度研究成果概要

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総研22号一般研究成果概要18(p113-114).pdf		986.18 kB	Adobe PDF	View/Open