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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3751

Title: 電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
Other Titles: デンシ デバイス ノ ジュンスイ スプレー センジョウ コウテイ ニオケル セイデンキ ハッセイ ボウシ ギジュツ ノ カイハツ
Authors: 清家, 善之
森, 竜雄
瀬川, 大司
小林, 義典
宮地, 計二
SEIKE, Yoshiyuki
MORI, Tatsuo
SEGAWA, Taishi
KOBAYASHI, Yoshinori
MIYACHI, Keiji
Keywords: 半導体デバイス
静電気障害
高圧スプレー
純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー
Issue Date: Nov-2020
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3751
Appears in Collections:(2)プロジェクト共同研究 令和元年度研究成果概要

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