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http://hdl.handle.net/11133/933
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| タイトル: | ArFエキシマレーザ放電における励起種の生成機構 |
| その他のタイトル: | ARF エキシマ レーザ ホウデン ニオケル レイキシュ ノ セイセイ キコウ
Formation Dynamics of Excited Components in ArF Excimer Laser Discharge |
| 著者: | 古橋, 秀夫
内田, 悦行
FURUHASHI, Hideo
UCHIDA, Yoshiyuki |
| 発行日: | 1993年3月31日 |
| 出版者: | 愛知工業大学 |
| 抄録: | Time-resolved density measurements of excited components in a discharge pumped ArF excimer laser were performed using laser absorption probing with a cw dye laser pumped by a Ar^+ laser. The dependence of the He^* 2p^3P densities on the gas parameters were measured. The relationships between laser output power and the number densities of He^* are discussed. The relationships between the laser output power and the formation rate of Ar^+ ions by Penning ionization with He^* atoms are also discussed. |
| URI: | http://hdl.handle.net/11133/933 |
| 出現コレクション: | 28号
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