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http://hdl.handle.net/11133/893
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| タイトル: | パーソナルコンピュータを用いた半導体中トラップの評価システムの製作 |
| その他のタイトル: | パーソナル コンピュータ オ モチイタ ハンドウタイチュウ トラップ ノ ヒョウカ システム ノ セイサク
Development of Evaluation System of Deep Traps in Semiconductors by Using Personal Computer |
| 著者: | 徳田, 豊
下方, 稔久
TOKUDA, Yutaka
SHIMOKATA, Toshihisa |
| 発行日: | 1992年3月31日 |
| 出版者: | 愛知工業大学 |
| 抄録: | Evaluation system of deep traps in pn and Schottky junctions, and MOS structures was developed by using personal computer. Deep level transient spectroscopy and weighted capacitance transient spectroscopy measurements are made by using this system. Zerbst and Schroder analyses are also performed for MOS structures. This simple measurement system can provide useful technique to detect traps in semiconductors. |
| URI: | http://hdl.handle.net/11133/893 |
| 出現コレクション: | 27号
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