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(2)プロジェク共同研究 令和4年度研究成果概要 >

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/4255

Title: 半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立
Other Titles: ハンドウタイ デバイス センジョウ ニオケル キカイ ガクシュウ オ モチイタ セイデンキ ショウガイ ノ ヨチ ギジュツ ノ カクリツ
Authors: 清家, 善之
森, 竜雄
一野, 祐亮
瀬川, 大司
加藤, 幹大
宮地, 計二
SEIKE, Yoshiyuki
MORI, Tatsuo
ICHINO, Yusuke
SEGAWA, Taishi
KATO, Mikihiro
MIYACHI, Keiji
Keywords: 半導体デバイス
静電気障害
高圧スプレー
純水
回帰機械学習
深層学習
Issue Date: Nov-2023
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/4255
Appears in Collections:(2)プロジェク共同研究 令和4年度研究成果概要

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総研25号プロジェクト共同研究成果概要03(p10-11).pdf406.31 kBAdobe PDFView/Open

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