AIT Associated Repository of Academic Resources: 電子ビーム励起プラズマを用いた立方晶窒化ホウ素in-situ Mgドーピング技術の確立

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Title:	電子ビーム励起プラズマを用いた立方晶窒化ホウ素in-situ Mgドーピング技術の確立
Other Titles:	デンシビームレイキプラズマオモチイタリッポウショウチッカホウソ in-situ Mg ドーピングギジュツノカクリツ
Authors:	竹内, 和歌奈高島, 成剛山川, 晃司 TAKEUCHI, Wakana TAKASHIMA, Seigo YAMAKAWA, Koji
Keywords:	窒化ホウ素結晶成長ワイドバンドギャップ半導体ドーピング技術半導体物性デバイス特性
Issue Date:	Oct-2022
Publisher:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/4155
Appears in Collections:	（4）一般研究令和3年度研究成果概要

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総研24号一般研究成果概要05(p87-89).pdf		1.72 MB	Adobe PDF	View/Open