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タイトル: 内部集光型レーザダイシングを用いたTEM試料用小片の切り出し手法
その他のタイトル: ナイブ シュウコウガタ レーザ ダイシング オ モチイタ TEM シリョウヨウ ショウヘン ノ キリダシ シュホウ
著者: 岩田, 博之
高木, 誠
坂, 公恭
IWATA, Hiroyuki
TAKAGI, Makoto
SAKA, Hiroyasu
キーワード: TEM
STEM
顕微鏡試料作製
イオンスライサー
ステルスダイシング
ボイド
転位
発行日: 2022年10月
出版者: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/4144
出現コレクション:(4)一般研究 令和3年度研究成果概要

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