AIT Associated Repository of Academic Resources: 内部集光型レーザダイシングを用いたTEM試料用小片の切り出し手法

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タイトル:	内部集光型レーザダイシングを用いたTEM試料用小片の切り出し手法
その他のタイトル:	ナイブシュウコウガタレーザダイシングオモチイタ TEM シリョウヨウショウヘンノキリダシシュホウ
著者:	岩田, 博之高木, 誠坂, 公恭 IWATA, Hiroyuki TAKAGI, Makoto SAKA, Hiroyasu
キーワード:	TEM STEM 顕微鏡試料作製イオンスライサーステルスダイシングボイド転位
発行日:	2022年10月
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/4144
出現コレクション:	（4）一般研究令和3年度研究成果概要

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総研24号一般研究成果概要03(p83-84).pdf		1.1 MB	Adobe PDF	見る/開く

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