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http://hdl.handle.net/11133/4125
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| タイトル: | 半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立 |
| その他のタイトル: | ハンドウタイ デバイス センジョウ ニオケル キカイ ガクシュウ オ モチイタ セイデンキ ショウガイ ノ ヨチ ギジュツ ノ カクリツ |
| 著者: | 清家, 善之
森, 竜雄
一野, 祐亮
瀬川, 大司
加藤, 幹大
宮地, 計二
SEIKE, Yoshiyuki
MORI, Tatsuo
ICHINO, Yusuke
SEGAWA, Taishi
KATO, Mikihiro
MIYACHI, Keiji |
| キーワード: | 半導体デバイス
静電気障害
高圧スプレー
純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー |
| 発行日: | 2022年10月 |
| 出版者: | 愛知工業大学 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11133/4125 |
| 出現コレクション: | （2）プロジェク共同研究 令和3年度研究成果概要
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