AIT Associated Repository of Academic Resources: 次世代半導体デバイス洗浄における高周波石英振動体型超音波洗浄装置の開発とその評価技術に関する研究

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Title:	次世代半導体デバイス洗浄における高周波石英振動体型超音波洗浄装置の開発とその評価技術に関する研究
Other Titles:	ジセダイハンドウタイデバイスセンジョウニオケルコウシュウハセキエイシンドウタイガタチョウオンパセンジョウソウチノカイハツトソノヒョウカギジュツニカンスルケンキュウ
Authors:	清家, 善之森, 竜雄一野, 祐亮本多, 祐二疋田, 智美 SEIKE, Yoshiyuki MORI, Tatsuo ICHINO, Yusuke HONDA, Yuji HIKITA, Tomomi
Keywords:	石英振動体型超音波洗浄装置超音波半導体ポリスチレンラテックス（PSL）粒子
Issue Date:	Oct-2022
Publisher:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/4124
Appears in Collections:	（2）プロジェク共同研究令和3年度研究成果概要

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総研24号プロジェクト共同研究成果概要01(p6-7).pdf		827.27 kB	Adobe PDF	View/Open