AIT Associated Repository of Academic Resources: パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率

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タイトル:	パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率
その他のタイトル:	パルスレーザシュウコウニヨリショウズルサファイヤケッショウケッカンノセイジョウトカコウコウリツ
著者:	岩田, 博之河口, 大祐坂, 公恭 IWATA, Hiroyuki KAWAGUCHI, Daisuke SAKA, Hiroyasu
キーワード:	TEM STEM ステルスダイシングボイドサファイヤ転位
発行日: