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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3972

Title: パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率
Other Titles: パルス レーザ シュウコウ ニヨリ ショウズル サファイヤ ケッショウ ケッカン ノ セイジョウ ト カコウ コウリツ
Authors: 岩田, 博之
河口, 大祐
坂, 公恭
IWATA, Hiroyuki
KAWAGUCHI, Daisuke
SAKA, Hiroyasu
Keywords: TEM
STEM
ステルスダイシング
ボイド
サファイヤ
転位
Issue Date: Nov-2021
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3972
Appears in Collections:(4)一般研究 令和2年度研究成果概要

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