AIT Associated Repository of Academic Resources: パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率

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タイトル:	パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率
その他のタイトル:	パルスレーザシュウコウニヨリショウズルサファイヤケッショウケッカンノセイジョウトカコウコウリツ
著者:	岩田, 博之河口, 大祐坂, 公恭 IWATA, Hiroyuki KAWAGUCHI, Daisuke SAKA, Hiroyasu
キーワード:	TEM STEM ステルスダイシングボイドサファイヤ転位
発行日:	2021年11月
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3972
出現コレクション:	（4）一般研究令和2年度研究成果概要

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総研23号一般研究成果概要02(p64-65).pdf		660.24 kB	Adobe PDF	見る/開く

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