DSpace DSpace 日本語

AIT Associated Repository of Academic Resources >
A.研究報告 >
A2 総合技術研究所研究報告 >
23号 >
(4)一般研究 令和2年度研究成果概要 >

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3967

Title: ビニルシランを用いたSiC薄膜形成のin-situリンドーピング原料探索
Other Titles: ビニルシラン オ モチイタ SiC ハクマク ケイセイ ノ in-situ リンドーピング ゲンリョウ タンサク
Authors: 竹内, 和歌奈
Keywords: シリコンカーバイド(SiC)
Issue Date: Nov-2021
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3967
Appears in Collections:(4)一般研究 令和2年度研究成果概要

Files in This Item:

File Description SizeFormat
総研23号一般研究成果概要06(p74-75).pdf695.87 kBAdobe PDFView/Open

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.


Valid XHTML 1.0! DSpace Software Copyright © 2002-2010  Duraspace - Feedback