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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3953

Title: シリコン単結晶のマイクロトライボロジーに及ぼす温度の影響
Other Titles: シリコン タンケッショウ ノ マイクロ トライボロジー ニ オヨボス オンド ノ エイキョウ
Authors: 高木, 誠
岩田, 博之
坂, 公恭
TAKAGI, Makoto
IWATA, Hiroyuki
SAKA, Hiroyasu
Keywords: シリコン単結晶
Issue Date: Nov-2021
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3953
Appears in Collections:(4)一般研究 令和2年度研究成果概要

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