AIT Associated Repository of Academic Resources: シリコン単結晶のマイクロトライボロジーに及ぼす温度の影響

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Title:	シリコン単結晶のマイクロトライボロジーに及ぼす温度の影響
Other Titles:	シリコンタンケッショウノマイクロトライボロジーニオヨボスオンドノエイキョウ
Authors:	高木, 誠岩田, 博之坂, 公恭 TAKAGI, Makoto IWATA, Hiroyuki SAKA, Hiroyasu
Keywords:	シリコン単結晶原子間力顕微鏡摩擦・摩耗透過型電子顕微鏡高温
Issue Date:	Nov-2021
Publisher:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3953
Appears in Collections:	（4）一般研究令和2年度研究成果概要

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総研23号一般研究成果概要22(p110-111).pdf		708.69 kB	Adobe PDF	View/Open