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タイトル: シリコン単結晶のマイクロトライボロジーに及ぼす温度の影響
その他のタイトル: シリコン タンケッショウ ノ マイクロ トライボロジー ニ オヨボス オンド ノ エイキョウ
著者: 高木, 誠
岩田, 博之
坂, 公恭
TAKAGI, Makoto
IWATA, Hiroyuki
SAKA, Hiroyasu
キーワード: シリコン単結晶
原子間力顕微鏡
摩擦・摩耗
透過型電子顕微鏡
高温
発行日: 2021年11月
出版者: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3953
出現コレクション:(4)一般研究 令和2年度研究成果概要

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