AIT Associated Repository of Academic Resources: 超音波洗浄技術を用いた次世代半導体デバイスの洗浄技術に関する研究

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タイトル:	超音波洗浄技術を用いた次世代半導体デバイスの洗浄技術に関する研究
その他のタイトル:	チョウオンパセンジョウギジュツオモチイタジセダイハンドウタイデバイスノセンジョウギジュツニカンスルケンキュウ
著者:	清家, 善之森, 竜雄本多, 祐二疋田, 智美佐藤, 正典 SEIKE, Yoshiyuki MORI, Tatsuo HONDA, Yuji HIKITA, Tomomi SATO, Masanori
キーワード:	半導体デバイス石英振動体型超音波洗浄超音波スプレー洗浄ポリエスチレンラテックス(PSL)粒子洗浄純水エレクトロスプレー
発行日:	2021年11月
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3942
出現コレクション:	（2）プロジェクト共同研究令和2年度研究成果概要

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総研23号プロジェクト共同研究成果概要02(p8-9).pdf		713.56 kB	Adobe PDF	見る/開く

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