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(2)プロジェクト共同研究 令和2年度研究成果概要 >

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3941

Title: 半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立
Other Titles: ハンドウタイ デバイス センジョウ ニオケル キカイ ガクシュウ オ モチイタ セイデンキ ショウガイ ノ ヨチ ギジュツ ノ カクリツ
Authors: 清家, 善之
森, 竜雄
瀬川, 大司
小林, 義典
宮地, 計二
SEIKE, Yoshiyuki
MORI, Tatsuo
SEGAWA, Taishi
KOBAYASHI, Yoshinori
MIYACHI, Keiji
Keywords: 半導体デバイス
静電気障害
高圧スプレー
純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー
Issue Date: Nov-2021
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3941
Appears in Collections:(2)プロジェクト共同研究 令和2年度研究成果概要

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