|
AIT Associated Repository of Academic Resources >
A．研究報告 >
A2 総合技術研究所研究報告 >
23号 >
（2）プロジェクト共同研究 令和2年度研究成果概要 >
このアイテムの引用には次の識別子を使用してください:
http://hdl.handle.net/11133/3941
|
| タイトル: | 半導体デバイス洗浄における機械学習を用いた静電気障害の予知技術の確立 |
| その他のタイトル: | ハンドウタイ デバイス センジョウ ニオケル キカイ ガクシュウ オ モチイタ セイデンキ ショウガイ ノ ヨチ ギジュツ ノ カクリツ |
| 著者: | 清家, 善之
森, 竜雄
瀬川, 大司
小林, 義典
宮地, 計二
SEIKE, Yoshiyuki
MORI, Tatsuo
SEGAWA, Taishi
KOBAYASHI, Yoshinori
MIYACHI, Keiji |
| キーワード: | 半導体デバイス
静電気障害
高圧スプレー
純水
ファラデーケージ
フラットパネルディスプレー |
| 発行日: | 2021年11月 |
| 出版者: | 愛知工業大学 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11133/3941 |
| 出現コレクション: | （2）プロジェクト共同研究 令和2年度研究成果概要
|
このリポジトリに保管されているアイテムは、他に指定されている場合を除き、著作権により保護されています。
|
English
