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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3650

Title: パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状
Other Titles: パルス レーザ ショウシャ ニヨリ ショウズル Siチュウ ボイド キンボウ ノ セイジョウ
Authors: 岩田, 博之
河口, 大祐
坂, 公恭
IWATA, Hiroyuki
KAWAGUCHI, Daisuke
SAKA, Hiroyasu
Keywords: TEM
STEM
ステルスダイシング
ボイド
転位
Issue Date: 30-Dec-2019
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3650
Appears in Collections:(4)一般研究 平成30年度研究成果概要

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