AIT Associated Repository of Academic Resources: パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状

			English

このアイテムの引用には次の識別子を使用してください: http://hdl.handle.net/11133/3650

タイトル:	パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状
その他のタイトル:	パルスレーザショウシャニヨリショウズル Siチュウボイドキンボウノセイジョウ
著者:	岩田, 博之河口, 大祐坂, 公恭 IWATA, Hiroyuki KAWAGUCHI, Daisuke SAKA, Hiroyasu
キーワード:	TEM STEM ステルスダイシングボイド転位
発行日:	2019年12月30日
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3650
出現コレクション:	（4）一般研究平成30年度研究成果概要

このアイテムのファイル:

ファイル	記述	サイズ	フォーマット
総研21号一般研究成果概要06(p92-94).pdf		786.55 kB	Adobe PDF	見る/開く

このリポジトリに保管されているアイテムは、他に指定されている場合を除き、著作権により保護されています。