AIT Associated Repository of Academic Resources: 切断加工したシリコン単結晶の強度に及ぼす後加工の効果

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Title:	切断加工したシリコン単結晶の強度に及ぼす後加工の効果
Other Titles:	セツダンカコウシタシリコンタンケッショウノキョウドニオヨボスアトカコウノコウカ
Authors:	高木, 誠岩田, 博之坂, 公恭河口, 大祐 TAKAGI, Makoto IWATA, Hiroyuki SAKA, Hiroyasu KAWAGUCHI, Daisuke
Keywords:	シリコン単結晶切断加工透過型電子顕微鏡
Issue Date:	30-Dec-2019
Publisher:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3631
Appears in Collections:	（4）一般研究平成30年度研究成果概要

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総研21号一般研究成果概要16(p120-121).pdf		763.49 kB	Adobe PDF	View/Open