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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3631

Title: 切断加工したシリコン単結晶の強度に及ぼす後加工の効果
Other Titles: セツダン カコウ シタ シリコン タンケッショウ ノ キョウド ニ オヨボス アトカコウ ノ コウカ
Authors: 高木, 誠
岩田, 博之
坂, 公恭
河口, 大祐
TAKAGI, Makoto
IWATA, Hiroyuki
SAKA, Hiroyasu
Keywords: シリコン単結晶
Issue Date: 30-Dec-2019
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3631
Appears in Collections:(4)一般研究 平成30年度研究成果概要

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