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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3617

Title: 自己伝播発熱素材と光技術によるウェハ接合技術開発とその応用
Other Titles: ジコ デンパ ハツネツ ソザイ ト ヒカリ ギジュツ ニヨル ウェハ セツゴウ ギジュツ カイハツ ト ソノ オウヨウ
Authors: 生津, 資大
河口, 大祐
伊ヶ崎, 泰則
NAMAZU, Takahiro
KAWAGUCHI, Daisuke
IGASAKI, Yasunori
Keywords: 自己伝播発熱材料
瞬間反応接合
ステルスダイシング
Issue Date: 30-Dec-2019
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3617
Appears in Collections:(2)プロジェクト共同研究 平成30年度研究成果概要

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