AIT Associated Repository of Academic Resources: 自己伝播発熱素材と光技術によるウェハ接合技術開発とその応用

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タイトル:	自己伝播発熱素材と光技術によるウェハ接合技術開発とその応用
その他のタイトル:	ジコデンパハツネツソザイトヒカリギジュツニヨルウェハセツゴウギジュツカイハツトソノオウヨウ
著者:	生津, 資大河口, 大祐伊ヶ崎, 泰則 NAMAZU, Takahiro KAWAGUCHI, Daisuke IGASAKI, Yasunori
キーワード:	自己伝播発熱材料瞬間反応接合ステルスダイシング
発行日:	2019年12月30日
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3617
出現コレクション:	（2）プロジェクト共同研究平成30年度研究成果概要

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総研21号プロジェクト共同研究成果概要08(p23-24).pdf		698.09 kB	Adobe PDF	見る/開く

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