AIT Associated Repository of Academic Resources: 電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発

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Title:	電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
Other Titles:	デンシデバイスノジュンスイスプレーセンジョウコウテイニオケルセイデンキハッセイボウシギジュツノカイハツ
Authors:	清家, 善之森, 竜雄瀬川, 大司小林, 義典宮地, 計二 SEIKE, Yoshiyuki MORI, Tatsuo SEGAWA, Taishi KOBAYASHI, Yoshinori MIYACHI, Keiji
Keywords:	半導体デバイス静電気障害高圧スプレー純水ファラデーケージフラットパネルディスプレー
Issue Date:	30-Dec-2019
Publisher:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3608
Appears in Collections:	（2）プロジェクト共同研究平成30年度研究成果概要

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総研21号プロジェクト共同研究成果概要01(p6-8).pdf		764 kB	Adobe PDF	View/Open