AIT Associated Repository of Academic Resources: 電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発

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タイトル:	電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発
その他のタイトル:	デンシデバイスノジュンスイスプレーセンジョウコウテイニオケルセイデンキハッセイボウシギジュツノカイハツ
著者:	清家, 善之森, 竜雄瀬川, 大司小林, 義典宮地, 計二 SEIKE, Yoshiyuki MORI, Tatsuo SEGAWA, Taishi KOBAYASHI, Yoshinori MIYACHI, Keiji
キーワード:	半導体デバイス静電気障害高圧スプレー純水ファラデーケージフラットパネルディスプレー
発行日:	2019年12月30日
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3608
出現コレクション:	（2）プロジェクト共同研究平成30年度研究成果概要

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総研21号プロジェクト共同研究成果概要01(p6-8).pdf		764 kB	Adobe PDF	見る/開く

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