DSpace DSpace 日本語
 

AIT Associated Repository of Academic Resources >
A.研究報告 >
A2 総合技術研究所研究報告 >
20号 >
(4)一般研究 平成29年度研究成果概要 >

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3421

Title: ウエットエッチング加工のグリーンプロセス研究
Other Titles: ウエット エッチング カコウ ノ グリーン プロセス ケンキュウ
Authors: 田中, 浩
TANAKA, Hiroshi
Keywords: グリーンプロセス
ウエットエッチング
アルカリ水溶液
シリコン
Issue Date: 30-Sep-2018
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3421
Appears in Collections:(4)一般研究 平成29年度研究成果概要

Files in This Item:

File Description SizeFormat
総研20号一般研究成果概要16(p109-110).pdf531.23 kBAdobe PDFView/Open

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

Valid XHTML 1.0! DSpace Software Copyright © 2002-2010  Duraspace - Feedback