AIT Associated Repository of Academic Resources: シリコン単結晶のトライボロジーと微構造変化

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Title:	シリコン単結晶のトライボロジーと微構造変化
Other Titles:	シリコンタンケッショウノトライボロジートビコウゾウヘンカ
Authors:	高木, 誠岩田, 博之坂, 公恭 TAKAGI, Makoto IWATA, Hiroyuki SAKA, Hiroyasu
Keywords:	シリコン単結晶摩擦・摩耗透過型電子顕微鏡
Issue Date:	30-Sep-2018
Publisher:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3411
Appears in Collections:	（4）一般研究平成29年度研究成果概要

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総研20号一般研究成果概要15(p106-108).pdf		782.38 kB	Adobe PDF	View/Open