AIT Associated Repository of Academic Resources: 内部集光型レーザダイシングを用いたイオンスライサーのための前処理手法

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タイトル:	内部集光型レーザダイシングを用いたイオンスライサーのための前処理手法
その他のタイトル:	ナイブシュウコウガタレーザダイシングオモチイタイオンスライサーノタメノマエショリシュホウ
著者:	岩田, 博之高木, 誠坂, 公恭河口, 大祐 IWATA, Hiroyuki TAKAGI, Makoto SAKA, Hiroyasu KAWAGUCHI, Daisuke
キーワード:	TEM STEM 顕微鏡試料作製イオンスライサーステルスダイシングボイド転位
発行日:	2018年9月30日
出版者:	愛知工業大学
URI:	http://hdl.handle.net/11133/3409
出現コレクション:	（4）一般研究平成29年度研究成果概要

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総研20号一般研究成果概要04(p75-76).pdf		600.08 kB	Adobe PDF	見る/開く

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