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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11133/3409

Title: 内部集光型レーザダイシングを用いたイオンスライサーのための前処理手法
Other Titles: ナイブ シュウコウガタ レーザダイシング オ モチイタ イオンスライサー ノ タメ ノ マエショリ シュホウ
Authors: 岩田, 博之
高木, 誠
坂, 公恭
河口, 大祐
IWATA, Hiroyuki
TAKAGI, Makoto
SAKA, Hiroyasu
KAWAGUCHI, Daisuke
Keywords: TEM
STEM
顕微鏡試料作製
イオンスライサー
ステルスダイシング
ボイド
転位
Issue Date: 30-Sep-2018
Publisher: 愛知工業大学
URI: http://hdl.handle.net/11133/3409
Appears in Collections:(4)一般研究 平成29年度研究成果概要

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