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http://hdl.handle.net/11133/3401
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| タイトル: | 電子デバイスの純水スプレー洗浄工程における静電気発生防止技術の開発 |
| その他のタイトル: | デンシ デバイス ノ ジュンスイ スプレー センジョウ コウテイ ニオケル セイデンキ ハッセイ ボウシ ギジュツ ノ カイハツ |
| 著者: | 清家, 善之
森, 竜雄
Eze, Vincent Obiozo
瀬川, 大司
小林, 義典
宮地, 計二
SEIKE, Yoshiyuki
MORI, Tatsuo
SEGAWA, Taishi
KOBAYASHI, Yoshinori
MIYACHI, Keiji |
| キーワード: | 半導体デバイス
静電気障害
高圧スプレー
純水
ファラデーケージ
誘導帯電素子 |
| 発行日: | 2018年9月30日 |
| 出版者: | 愛知工業大学 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11133/3401 |
| 出現コレクション: | （2）プロジェクト共同研究 平成29年度研究成果概要
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