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http://hdl.handle.net/11133/2797
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| タイトル: | 原子間力顕微鏡(AFM)と透過型電子顕微鏡(TEM)を用いたシリコン単結晶のマイクロ摩耗プロセスの解明 |
| その他のタイトル: | ゲンシカンリョク ケンビキョウ AFM ト トウカガタ デンシ ケンビキョウ TEM オモチイタ シリコン タンケッショウ ノ マイクロ マサツ プロセス ノ カイメイ
Study on Microwear Proass of Silicon Single Crystal Using AFM and TEM |
| 著者: | 高木, 誠
松室, 昭仁
岩田, 博之
TAKAGI, Makoto
MATSUMURO, Akihihoto
IWATA, Hiroyuki |
| 発行日: | 2013年9月30日 |
| 出版者: | 愛知工業大学 |
| 抄録: | The change of microstructure of a Si single crystal surface after scanning-scratching tests under very srnall loadingforces by AFM was investigated by cross-sectional TEM observations in order to clarify the micro/nanowear process and the modification. The cross sectional TEM observations indicated wear process of Si single crystal;(1) introduction of dislocations and residual strain，and amorphization of Si single crystal， (2)the amorphous Si region was worn off and the formation of new amorphous Si phase became difficult. |
| URI: | http://hdl.handle.net/11133/2797 |
| 出現コレクション: | 15号
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