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http://hdl.handle.net/11133/2140
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タイトル: | HEM構造を用いた半導体量子ドットレーザの単一モード発振 |
その他のタイトル: | HEM コウゾウ オ モチイタ ハンドウタイ リョウシ ドット レーザ ノ タンイツ モード ハッシン Single mode laser operation of semiconductor quantum dot using HEM structure. |
著者: | 五島, 敬史郎 津田, 紀生 山田, 諄 小森, 和弘 天野, 健 GOSHIMA, Keishiro TSUDA, Norio YAMADA, Jun KOMORI, Kazuhiro AMANO, Takeru |
発行日: | 2013年3月31日 |
出版者: | 愛知工業大学 |
抄録: | We propose a quantum dot (QD) laser with the half-etching mesa distributed feedback (HEM-DFB) structure, fabricated by single-step dry etching. The HEM-DFB structure provides several advantages, such as a low scattering loss, wavelength stability and so on. In this study, we achieved wavelength stability control of two mode emission peaks generated by HEM-DFB structure using improved Cl2 dry etching. Also, we demonstrated low threshold current of 23 mA and higher thermal stability of 0.077 nm/K at a 1.3-μm emission by the improved HEM-DFB structure |
URI: | http://hdl.handle.net/11133/2140 |
出現コレクション: | 48号
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